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    —微納結構及成分分析平臺


    包括透射電子顯微鏡(TEM)、二次離子質譜儀(SIMS)和原子力顯微鏡(AFM)等 ??蛇M行微納形貌、結構和化學組成的分析與表征,點、線結構分辨率可小于1nm,三維結構極限分辨率小于1μm;成分分辨率探測極限可達ppm-ppb級的。


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