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    我所計量檢測中心近期取得多項科研成果

    • 2022-10-26
    • 來源:計量中心
    • 供稿人:張成
    • 字體:

    近期我所計量檢測中心在項目攻關、標準編制等領域取得多項成果,技術優勢和行業影響力不斷提升。

    在芯片電磁兼容性測試領域取得科研成果

    近期,賽寶計量檢測中心組織專家團隊對芯片電磁兼容性測試系統(IC EMC)的校準技術開展研究攻關并取得初步成果。針對測試系統中包含的射頻參數、瞬態時域參數分別研究校準方法及校準裝置。主要研究成果包括電阻式脈沖分壓系統、瞬態脈沖參數的偏微分計算、近場耦合天線組等。

    芯片的電磁兼容測試是當前國際的前沿研究內容,各國科研機構及國際組織都在對此進行深入研究。國際電工委員會也組織制定了一些標準化的測試和測量方法來評估電磁兼容特性,例如IEC 61967、IEC62132、IEC62215等系列標準。但是目前芯片電磁兼容測試系統的校準研究仍處于起步階段,針對測試設備的校準仍然依賴理論計算與仿真實驗,尚未形成完整的量值傳遞與溯源體系,缺乏對測試設備參數的準確性的評估。

    經過實驗及計算分析,計量檢測中心研制的校準裝置滿足芯片電磁兼容性測試系統的計量需求,初步建立芯片電磁兼容性測試系統校準能力。本研究項目對芯片電磁兼容性測試系統的完善具有開創性意義,完善了芯片測試的相關需求研究結果將填補相關領域空白。

     

    楊霖博士受邀參加國際研討會并作技術報告

    計量檢測中心楊霖博士代表我所集成電路計量項目團隊參加2022國際先進光刻技術研討會(IWAPS)并作技術報告。IWAPS是由中國集成電路創新聯盟、中國光學學會、中國電子學會主辦的國際高端光刻技術研討會,每年組織國內外光刻技術領域資深專家,圍繞材料、設備、工藝、測量、計算光刻和設計優化等主題開展討論,分享最新研究成果,探討圖形化解決方案。

    楊霖的報告反映了可溯源的衍射型套刻精度(DBO)計量技術的研究成果,主要針對集成電路光刻工藝的關鍵參數“套刻精度”的精準測量控制需求進行研發。研究項目通過設計基于單層雙線光柵結構的專用高靈敏度標準芯片,研制可溯源的高精度專用計量標準儀器,實現了光刻工藝DBO參數的可溯源計量。

    據悉,目前僅美國國家標準與技術研究院(NIST)開發了針對圖像型套刻精度(IBO)的可溯源計量技術,而國際上針對工業界更為先進的DBO計量技術則尚處于空白。楊霖博士團隊研究成果可為解決光刻工藝中DBO量測機臺的量值統一和匹配問題提供關鍵技術手段,有望填補相關領域的技術空白。

     

    2項環境試驗設備檢驗方法國家標準順利通過審查

    計量檢測中心承擔起草的《環境試驗設備檢驗方法 第14部分:振動(正弦)試驗用電動式振動系統》和《環境試驗設備檢驗方法 第21部分:振動(隨機)試驗用液壓式振動系統》2項國家標準順利通過審查。以上2項國家標準規范了振動系統的檢驗方法,完善了環境試驗設備的檢驗體系,推動了測量不確定度在該領域的進一步實施。

    近年來,我所積極參與國家標準化工作,主持起草了大量國家標準,行業影響力不斷提升,為推動我國工業領域的高質量發展貢獻賽寶方案。


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